Титан взаимодействует с кислородом при всех температурах. При избытке кислорода образуется TiO2, в иных условиях возможно образование TiO и Ti2O3. Образовавшийся при комнатной температуре адсорбционный слой состоит из химически связанного кислорода и надстройки слабо связанных с поверхностью атомов газов. В начальный период процесса на скорость роста окисной пленки основное влияние оказывает температура. Окисление поверхности титана происходит главным образом в течение 1-2 ч. Дальнейшая выдержка при температурах до 300˚С приводит к незначительному изменению состояния поверхности. Это связано с защитными свойствами окисной пленки.

Процесс окисления титана на воздухе в интервале 20-300˚С можно разделить на три периода:

1. Образование окисной пленки при температуре до 50˚С; при этом увеличения содержания кислорода методом вакуум-плавления не обнаруживается.

2. Окисление титана в диапазоне температур от 60 до 140˚С; в этом интервале температур увеличение содержания кислорода подчиняется линейному уравнению

3. Окисление титана в диапазоне температур от 140 до 300˚С; в этом интервале температур увеличение содержания кислорода в титане выражается параболической зависимостью

При температурах выше 400˚С структура пленки нарушается, и скорость окисления титана резко возрастает. Это связано с увеличением скорости диффузии ионов кислорода с поверхности в глубь металла. Окисление титана на воздухе протекает более интенсивно, чем в чистом кислороде. Это связано с присутствием азота, который способствует образованию дефектов в решетке окисла и повышает скорость окисления.