Очистка хлорсилана
Страница 3

Отсутствие объективного и быстрого метода оценки качества хлосиланов продолжает оставаться уязвимым местом в технологии полупроводникового кремния. Наряду с перечисленными выше методами предпринимались попытки разработать способ оценки чистоты хлорсилана по электрофизическим параметрам полученной из него эпитаксиальной структуры. Однако этот метод пока не получил широкого распространения из-за длительности и слабой воспроизводимости анализа.

Страницы: 1 2 3 

Смотрите также

Общие указания по выполнению лабораторных работ.
Подготовка к выполнению лабораторной работы заключается в изу­чении теоретической  части  работы  по рекомендованной литературе и по конспектам лекций.  В описании каждой лабораторной работы даны в ...

Химические реакции и системы
Химия – наука о веществах и их превращениях друг в друга. Вещество – вид материи, имеющий определенный состав (природу и число составляющих его частиц), строение (пространственное распол ...

Химическое выветривание
Химическое выветривание — это совокупность различных химических процессов, в результате которых происходит дальнейшее разрушение горных пород и качественного изменения их химического состава с обра ...