SiemensSiHCl3Односта-7-12: 137-480,2-0,4
(Германия) дийная
В некоторых схемах (например, фирма Montedison) из конденсата хлоридов выделяют тетрахлорсилан, который в дальнейшем либо уничтожают, либо перерабатывают на побочную продукцию: диоксид кремния - аэрозоли, этилсиликаты, органосиланы, силиконы, синтетический кварц.
Сравнение производств полупроводникового кремния методами термического разложения моносилана (ТРМ) и водородного восстановления хлорсиланов (ВВХ)
ПоказателиТРМВВХ
Температура, оС 8001050
Выход,%> 9525-30
Скорость осаждения, 0,45,4
кг/м2. ч
Энергозатраты, 360-460<250
мдж/кг
Состав оборотных >98%H2Смесь: H2,
газовСледы SiH4SiHCl3,SiCl4SiH2Cl2
Материальные затраты
на отдельные стадии
Ппроизводств,%
Ректификация 1916
Реактор разложения 64 32
Разделение оборотных газов- 30
Другие затраты 1722
Производство методом ВВХ по сравнению с ТРМ имеет преимущество в дешевизне продукции и безопасности, однако проигрывает в чистоте получаемого кремния, его однородности и в степени использования сырья.
Предприятия, работающие по методу ВВХ, в оборудовании применяют серий ные материалы, а по методу ТРМ – специальные, более стойкие к повышенному давлению и температурам. Реактора разложения ВВХ проще по конструкции и, следовательно, дешевле.
Основные направления развития производств полупроводникового кремния.
Тиофен
Тиофен содержится в каменноугольной
смоле и является спутником коксохимического бензола (присутствует в количестве
0,5%). По ряду физических и химических свойств тиофен очень близок к бензолу:
темп ...
Красители на основе 2-амино-5-меркапто-1,3,4-тиадиазола
Красителями, в широком смысле этого слова, называют
органические соединения, обладающие способностью поглощать и преобразовывать
световую энергию в видимой и ближних ультрафиолетовой и инфра ...
Заключение
При написании работы
был изучен метод потенциометрического титрования. В результате можно выделить несколько
основных преимуществ данного метода титрования перед методом кислотно-основного
титрован ...