Использование кварцевого измерителя толщины позволяет независимо от ДБЭ измерять толщину напыляемой пленки. Физический принцип прибора основан на измерении изменения периода собственных колебаний кварцевой пластинки (резонатора).
Измерительный резонатор, помещенный в вакуумный объем напылительной установки, определяет период колебаний выносного генератора. Собственный период колебаний измерительного резонатора прямо зависит от толщины пленки, осаженной на него. Сравнивая период колебаний выносного генератора с эталонным, можно определить толщину выросшей пленки.
В данной работе использовался цифровой прибор УУП-1 предназначенный для контроля толщины и скорости роста пленок алюминия, поэтому частота внутреннего генератора подобрана так, чтобы изменение показаний прибора на единицу соответствовало толщине пленки алюминия в один ангстрем.
Градуировка прибора для измерения толщин пленок кремния и германия производилась при достаточно низких температурах эпитаксии в условиях двумерно-островкового роста, когда за один период осцилляции вырастает пленка монослойной толщины.
Алмазы и их применение
Алмазы представляют собой интереснейший и
необыкновеннейший ресурс. Ранее, вплоть до XV века,
человечество знало лишь одну сторону этого удивительного минерала: то, что они
необык ...
Получение серной кислоты путем переработки отходов производства диоксида титана
Сернокислотный
метод производства диоксида титана из ильменита и титановых шлаков имеет ряд
существенных недостатков — сложная многостадийная схема, высокий расход серной
кислоты, значитель ...